5-Achs gefräst Keramikisolatoren fir Hallefleiterausrüstung a Cleanrooms

An der Welt vun der Hallefleederproduktioun an am Cleanroom-Ëmfeld mat héijem Asaz muss all Komponent eng einwandfräi Leeschtung liwweren.PFT, mir spezialiséieren eis op Handwierk5-Achs gefräst Keramik Isolatorendéi Präzisioun a Zouverlässegkeet nei definéieren. Mat iwwer 20+Mat Joeren Erfahrung sinn eis Léisunge sou konzipéiert, datt se den héijen Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung gerecht ginn, datt se thermesch Stabilitéit, elektresch Isolatioun a kontaminatiounsfräie Betrib an ultra-sensiblen Ëmfeld garantéieren.

Firwat eis 5-Achs gefräst Keramikisolatoren wielen?

1.Fortgeschratt Produktiounsfäegkeeten

Eis Ariichtung ass equipéiert matModern 5-Achs CNC Fräsmaschinnen, wat eng Genauegkeet op Mikrometerniveau bei der Formung vun fortgeschrattene Keramikmaterialien wéi Aluminiumoxid (Al₂O₃), Siliziumcarbid (SiC) an Aluminiumnitrid (AlN) erméiglecht. Am Géigesaz zu konventionelle Methoden erlaabt d'5-Achs-Bearbechtung komplex Geometrien - entscheedend fir Komponenten wéi Wafer-Liftpins, Oflagerungskammerdeeler a plasmaresistent Isolatoren.

Schlësselmerkmale:

•Präzisioun:±0,005 mm Toleranz fir eng nahtlos Integratioun an ASML Lithographie-Tools oder Lam Research Ätzsystemer.
•Materialvielfältegkeet:Optimiséiert fir 99,8% Aluminiumoxid, héichreine SiC an aner fortgeschratt Keramik.
•Uewerflächenfinish:Ra <0,2 μm fir d'Partikelbildung an ISO Klass 1 Reinigungsraim ze minimiséieren.

2.Proprietär Prozessingenieurwesen

Eis Ingenieuren hunn entwéckeltzougemaachte Prozesskontrollendéi sech un d'Brëchkeet vun der Keramik während der Bearbeitung upassen. Duerch d'Kombinatioun vun Dréchefrästechniken mat Echtzäit-Vibratiounsdämpfung erreechen mir rissfräi Uewerflächen an eng verlängert Liewensdauer vu Komponenten - och bei extremen thermesche Zyklen (bis zu 1.600 °C).

Innovatioun am Fokus:

•Protokoller fir Stressofbau:Minimiséiert Mikrofrakturen an AlN-Isolatoren fir CVD-Uwendungen.
•Behandlungen no der Veraarbechtung:HIP (Hot Isostatic Pressing) verbessert d'Dicht an d'Korrosiounsbeständegkeet.

3.Rigoréis Qualitéitssécherung

All Isolator gëtt ënnerworf12-Stufen-Inspektioun, dorënner:

•CMM (Koordinatenmessmaschinn)Validatioun vu kriteschen Dimensiounen.
•Helium-Leckage-Testfir Vakuumkompatibilitéit.
•EDS (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)fir d'Materialreinheet ze kontrolléieren.

EisISO 9001/14001-zertifizéiert Systemgarantéiert d'Verfollegbarkeet vun der Beschaffung vu Rohmaterialien (beschafft vu Tier 1-Liwweranten wéi CoorsTek) bis zur Endverpackung.

Uwendungen: Wou Präzisioun op Leeschtung trëfft

Eis Isolatiounsmaterialien si vertrauenswierdeg an:

•Ätz- & Oflagerungsinstrumenter:SiC-beschichtete Komponenten fir Plasmawiderstand an Applied Materials™ Moduler.
•Ionenimplantater:Aluminiumoxid-Liftstifte mat antistatischen Beschichtungen fir de Rutschen vum Wafer ze verhënneren.
•Metrologiesystemer:Isolatoren mat gerénger thermescher Expansioun fir EUV-Lithographie-Stufen.

Fallstudie:E féierende Hallefleeder-OEM huet d'Ausfallzäit vun Tools ëm 40% reduzéiert nodeems en op eis speziell entwéckelt SiC-Brauschkäpp gewiesselt ass, déi d'Deeler vun der Konkurrenz bei der 300 mm Waferveraarbechtung iwwertraff hunn.

Iwwer d'Produktioun eraus: E Partnerschaftsusaz

•Schnell Prototyping:Reecht Är CAD-Dateien of a kritt funktionell Prototypen an 7 Deeg.
•Verpackung fir propper Raimlechkeeten op der Plaz:Optional Klass 10 Reinraummontage fir direkt Integratioun vun Tools.
•Liewenslaang techneschen Support:Eis Ingenieuren bidden Verschleiungsanalysen a Neibearbechtungsservicer un, fir de Liewenszyklus vu Komponenten ze verlängeren.